多晶硅正從光伏邁向電子級 還原爐清洗不可忽視
時(shí)間:2019-04-30 15:56:04作者:LeeZhou來(lái)源:德高潔清潔設備分享到:QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信
多晶硅,作為光伏與半導體行業(yè)的基礎命脈,其自身品質(zhì)與成本狀況極大程度地決定了行業(yè)的發(fā)展水平。集成電路用的電子級硅材料幾乎是目前工業(yè)領(lǐng)域純度要求最高的產(chǎn)品,純度要求達到99.99999999999%,即11個(gè)9以上,而普通太陽(yáng)能級多晶硅材料純度通常在5~8個(gè)9左右,國內多晶硅正由光伏邁向電子級。
國際咨詢(xún)機構IBS發(fā)布的數據顯示,從2014年起,中國集成電路市場(chǎng)規模在全球占比超過(guò)50%,預計到2020年超過(guò)60%。根據《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》明確提出的發(fā)展目標,2018年中國集成電路產(chǎn)業(yè)增長(cháng)22.0%,產(chǎn)業(yè)規模達到6400億元。到2020年將全面達到全國集成電路發(fā)展“十三五”規劃的目標,產(chǎn)業(yè)銷(xiāo)售規模達到9300億元。
在多晶硅的生產(chǎn)過(guò)程中,一些物料和污物會(huì )粘附在內壁、視孔鏡、底部法蘭上,增加反應生成過(guò)程中的能耗,增加生產(chǎn)成本,更加影響多晶硅的質(zhì)量,影響了多晶硅的純度。為了保證多晶硅還原爐表面的潔凈度,需要對還原爐清洗和烘干等工作。
德高潔公司憑借多年來(lái)對自動(dòng)化清洗系統設計、制造的成熟經(jīng)驗和能力,早在2009年就研發(fā)出多晶硅還原爐清洗系統,經(jīng)過(guò)多年來(lái)客戶(hù)的實(shí)際應用和需求,通過(guò)總結借鑒國內外經(jīng)驗,德高潔對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識,充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢,進(jìn)一步研制出電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統。
德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統自動(dòng)化程度高,用PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統,能實(shí)現對還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干,清洗烘干時(shí)間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定,同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能。一次吊裝在一個(gè)工作臺上完成全部清洗、烘干過(guò)程,可實(shí)現遠程對樓下設備的控制和主要參數監控。
全密閉式清洗烘干系統,使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口排放,基本消除了對現場(chǎng)及操作人員的污染。核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口保證了電子級多晶硅鐘罩清洗系統性能的可靠,可以在一套系統實(shí)現多種型號鐘罩的清洗烘干。目前,德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國內90%的用戶(hù),為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統。
國際咨詢(xún)機構IBS發(fā)布的數據顯示,從2014年起,中國集成電路市場(chǎng)規模在全球占比超過(guò)50%,預計到2020年超過(guò)60%。根據《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》明確提出的發(fā)展目標,2018年中國集成電路產(chǎn)業(yè)增長(cháng)22.0%,產(chǎn)業(yè)規模達到6400億元。到2020年將全面達到全國集成電路發(fā)展“十三五”規劃的目標,產(chǎn)業(yè)銷(xiāo)售規模達到9300億元。
在多晶硅的生產(chǎn)過(guò)程中,一些物料和污物會(huì )粘附在內壁、視孔鏡、底部法蘭上,增加反應生成過(guò)程中的能耗,增加生產(chǎn)成本,更加影響多晶硅的質(zhì)量,影響了多晶硅的純度。為了保證多晶硅還原爐表面的潔凈度,需要對還原爐清洗和烘干等工作。
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全密閉式清洗烘干系統,使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口排放,基本消除了對現場(chǎng)及操作人員的污染。核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口保證了電子級多晶硅鐘罩清洗系統性能的可靠,可以在一套系統實(shí)現多種型號鐘罩的清洗烘干。目前,德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國內90%的用戶(hù),為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統。
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