能源和環(huán)境問(wèn)題日益成為各方關(guān)注的焦點(diǎn)，為了實(shí)現能源和環(huán)境的可持續發(fā)展，世界各國都將太陽(yáng)能發(fā)電行業(yè)作為發(fā)展的重。多晶硅還是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)最基礎的原材料，還原工藝是多晶硅生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝和成品工藝，其工藝條件和參數控制好壞直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。電子級多晶硅生產(chǎn)工藝要求很高，要在“無(wú)油、無(wú)水、無(wú)塵”的環(huán)境下運行。



目前多晶硅生產(chǎn)多數采用改良西門(mén)子法，用來(lái)生產(chǎn)半導體行業(yè)電子級多晶硅；還原爐和氫化爐是改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅的核心設備，其運行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量及生產(chǎn)成本。鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠，常常導致硅芯擊不穿或產(chǎn)品質(zhì)量污染，所以鐘罩清洗設備對多晶硅生產(chǎn)非常重要。

經(jīng)過(guò)多年來(lái)客戶(hù)的實(shí)際應用和需求，通過(guò)總結借鑒國內外經(jīng)驗，德高潔對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢，研發(fā)電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統。

德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統包括低壓熱水清洗動(dòng)力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作臺、萬(wàn)級凈化干燥系統、循環(huán)過(guò)濾系統、控制裝置、微負壓系統、清洗工作臺、電氣控制系統等，系統實(shí)現了鐘罩的全自動(dòng)清洗和烘干操作。



電子級多晶硅還原爐鐘罩自動(dòng)清洗系統特點(diǎn)：

1、多晶硅還原爐鐘罩清洗系統以3D形式的網(wǎng)狀噴射來(lái)完成爐筒內部表面的水力掃射，加之萬(wàn)級凈化干燥系統，完全滿(mǎn)足電子級多晶硅生產(chǎn)的需求。

2、自動(dòng)化程度高，清洗時(shí)只需一鍵操作即可，操作簡(jiǎn)單方便。自動(dòng)控制系統能實(shí)現對還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干，清洗烘干時(shí)間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能。

3、在整個(gè)還原爐的清洗過(guò)程中，清洗、干燥中筒內形成微負壓狀態(tài)，防止清洗外溢，同時(shí)將底座與筒體下法蘭處的污染物等一并吹掃，通過(guò)排污管排出，從而保證了整個(gè)過(guò)程不會(huì )對潔凈區造成污染。全密閉式清洗烘干系統，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對現場(chǎng)及操作人員的污染。

4、德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口。電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統的適應范圍廣，一套系統可以實(shí)現多種型號鐘罩的清洗烘干。

多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學(xué)溶劑低壓清洗、機械拋光等，德高潔多晶硅鐘罩清洗系統覆蓋了國內90%的多晶硅企業(yè)，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統。這套電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統經(jīng)過(guò)反復摸索求證，可根據不同的鐘罩、不同車(chē)間廠(chǎng)房不同能源條件，提供個(gè)性化設計，節省了人力物力，大大降低勞動(dòng)強度，這也對提高多晶硅品質(zhì)產(chǎn)生重要意義，取得了一定的經(jīng)濟效益和社會(huì )效益。