當今LCD顯示器的生產(chǎn)過(guò)程中清洗工藝的優(yōu)劣是至關(guān)重要的，目前最流行的是將高壓水射流清洗技術(shù)應用到玻璃基板的清洗工藝中，可通過(guò)將清洗液加壓到上百bar的壓力，再通過(guò)孔徑為0.5～1.5mm的微孔噴出，形成高流速的微小液滴來(lái)清洗玻璃基板。這一技術(shù)提高了噴淋清洗的洗凈力，縮短了清洗線(xiàn)的長(cháng)度，節省了凈化空間和DI水的使用量。之前我們介紹了《高壓清洗機在玻璃基板清洗中的應用》，以下主要介紹高壓水射流玻璃基板清洗技術(shù)的實(shí)際效果。

 

 

對噴射壓力為100 bar，噴射距離為100 mm的狀況進(jìn)行試驗，結果表明，從微孔噴射嘴噴出的清洗液在空氣中運行時(shí)，與空氣發(fā)生碰撞后進(jìn)一步微細化。對其粒徑的統計表明，其平均粒徑為0.034 μm，在到達距離噴嘴100 mm 的基板時(shí)，速度為40～50 m/s的微細水滴所占比例最大。只要通過(guò)壓力調節就可以得到所需要粒徑和速度的清洗液滴，以達到所需要的清洗效果。下圖為清洗時(shí)微細液滴微觀(guān)照片。

 

 

實(shí)際證明，高壓水射流玻璃基板清洗技術(shù)與以前的傳統的清洗方式相比較具有對清洗的物件損傷較小、不會(huì )對清洗物造成二次污染和DI水用量小等優(yōu)點(diǎn)。其中省水的優(yōu)點(diǎn)更是顯著(zhù)，它的噴嘴每分鐘只有小于一升的用水量，這樣就能很大程度上降低清洗線(xiàn)的DI水用量，并由于它清洗的高效率也使得清洗線(xiàn)的長(cháng)度很大程度節省了凈化空間。這些優(yōu)點(diǎn)將使的超高壓清洗成為L(cháng)CD清洗工藝中更先進(jìn)更有效的清洗工藝，它將在很大程度上彌補傳統清洗工藝的不足。