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多晶硅還原爐鐘罩清洗系統
時(shí)間:2011-01-11 來(lái)源:
多晶硅還原爐鐘罩自動(dòng)清洗烘干系統 Bell jar cleaning system
■適用范圍
西門(mén)子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內壁的全自動(dòng)清洗和烘干。
■工作原理
以高壓水射流為動(dòng)力,以水力自驅動(dòng)三維洗罐器為噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成鐘罩內部表面的水力掃射,用專(zhuān)用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過(guò)程。
用經(jīng)過(guò)三級凈化(10萬(wàn)級)的純凈空氣,梯級加熱,最終保證烘干完的鐘罩不再結露,可直接進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)。
■系統特點(diǎn)
1)技術(shù)能力強,設計合理,根據客戶(hù)需求,總結借鑒國內外還原爐鐘罩及其它罐類(lèi)清洗烘干經(jīng)驗,充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢,設計出本套系統,實(shí)現了還原爐鐘罩的全自動(dòng)清洗和烘干操作?筛鶕褂梅讲煌原爐鐘罩、車(chē)間廠(chǎng)房的情況,能源條件不同,提供個(gè)性化設計。
2)設備性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口。
3)自動(dòng)化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統,實(shí)現對還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能。
4)適應范圍廣:可以在一套系統實(shí)現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。
5)節能、環(huán)保、安全:提供了預熱(余熱蒸汽、余熱水或油)加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統,基本消除了對現場(chǎng)及操作人員的污染。
6)德高潔集團在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處。服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò )健全,零配件充足。
■工作流程
還原爐鐘罩到位—預清洗—清洗劑(堿液)清洗—漂洗—高純水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。
注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響,這方面我公司積累了豐富的實(shí)踐經(jīng)驗解決閃爆等問(wèn)題。
■基礎條件
1)電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控制柜。
2)蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點(diǎn)。
3)壓縮空氣:不小于流量3NM3/h,壓力0.6-0.75Mpa(G)(氣動(dòng)閥、氣缸用氣), 指定接口點(diǎn)。
4)脫鹽水:可提供條件,不小于100L/min,到指定接口點(diǎn)。
5)純水:不小于 100L/min,到指定接點(diǎn)。
6)清洗劑:NaOH清洗液等,不小于2立方米。
7)占地面積:36-80平方米(寬約6-7米,長(cháng)6-12米
8)三廢處理:洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處理,配排污水(池、槽)溝;清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放。
■設備組成
1)高壓熱水清洗動(dòng)力裝置1套
由高壓熱水清洗機及附件(1套),高壓水自驅動(dòng)三維洗罐器(1套),三維洗罐器升降裝置(氣動(dòng),1套)組成。
2)熱風(fēng)凈化烘干機組1套
進(jìn)風(fēng)凈化等級:10萬(wàn)級。
3)清洗烘干工作臺及管道1套
4)電氣控制系統1套。
采用PLC+觸摸屏全自動(dòng)控制,全套德高潔版控制軟件。
注:水和風(fēng)的加熱方式:電加熱,蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。
■布置方案
設備的布置及工藝方案,德高潔可以根據各使用廠(chǎng)家的鐘罩、廠(chǎng)房、外部環(huán)境的不同情況,做個(gè)性化設計。
1)一樓布置典型方案。全部設備在1樓清洗間,不防爆。室外取風(fēng)、室外排風(fēng)。
立體圖
2)一、二樓布置典型方案。清洗烘干主設備、主控制柜,在1樓設備間,不防爆;工作臺及遠程控制箱在2樓工作場(chǎng)地。防爆。
立體圖
3)一、二、三樓布置,主機一拖二方案。
立體圖
- 標簽:
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