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多晶硅還原爐體及鐘罩干式清掃裝置
多晶硅還原爐體及鐘罩干式清掃裝置使用時(shí)利用上下移動(dòng)和旋轉機構帶動(dòng)高壓氣體噴吹以及特殊旋轉刷組合機構近距離對反應釜表面進(jìn)行噴吹和接觸式清掃達到清洗的目的。通過(guò)清洗旋轉調速機構可滿(mǎn)足各工況的要求。清洗的同時(shí)采用特殊除塵凈化器一次性進(jìn)行除塵凈化。
多晶硅還原爐體及鐘罩干式清掃裝置 The dry clean system for Bell jar and the reactor base
■適用范圍
硅烷法多晶硅生產(chǎn)工藝。
用于還原車(chē)間反應釜中硅污染物附著(zhù)力不大的工況條件下無(wú)污染干式清洗。
■工作原理
清洗時(shí)利用上下移動(dòng)和旋轉機構帶動(dòng)高壓氣體噴吹以及特殊旋轉刷組合機構近距離對反應釜表面進(jìn)行噴吹和接觸式清掃達到清洗的目的。通過(guò)清洗旋轉調速機構可滿(mǎn)足各工況的要求。清洗的同時(shí)采用特殊除塵凈化器一次性進(jìn)行除塵凈化。
■工藝流程
反應釜吊裝至清洗臺上—定位—連接、啟動(dòng)凈化器—啟動(dòng)旋轉、上下移動(dòng)機構—高壓氣體沿壁噴吹—旋轉刷至上而下接觸移動(dòng)清掃—凈化氣體置換—反應釜吊起—檢查。
■設備組成及配置
主要由清洗平臺、氣體噴吹裝置、吸塵輸送管道、控制閥門(mén)、動(dòng)力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵凈化器、電氣控制系統等組成。
主要部件采用進(jìn)口零部件，確保運行可靠穩定、使用周期長(cháng)。操作維修簡(jiǎn)單。
■設備特點(diǎn)
1)裝置為移動(dòng)單元式結構。
2)凈化后的空氣可達到10萬(wàn)級的凈化精度可完全在室內排放。
3)采用全封閉干式的清洗方式確保對環(huán)境不出現二次污染。
4)電氣設計按隔爆的各項要求執行、 設備設有靜電導出裝置。
5)控制方式可為全自動(dòng)或手動(dòng)控制。
6)運行總功率小，噪聲低。
