多晶硅材料是以工業(yè)硅為原料經(jīng)一系列物理化學(xué)反應提純后達到一定純度的電子材料，其具有高純度的特點(diǎn)，在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中，對產(chǎn)品質(zhì)量的控制要求很高。在競爭激烈市場(chǎng)價(jià)格越來(lái)越低的態(tài)勢下，更好的壓縮成本，也是多晶硅生產(chǎn)廠(chǎng)家關(guān)注的重點(diǎn)。

多晶硅生產(chǎn)多采用改良西門(mén)子法，也是用來(lái)生產(chǎn)半導體級多晶硅的主要工藝方法。還原爐是改良西門(mén)子法的核心設備，多晶硅的硅棒就是在其中“生長(cháng)”出來(lái)的，因此還原爐的沉積環(huán)境的潔凈度特別關(guān)鍵。


在多晶硅的生產(chǎn)設備中，還原爐運行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量和生產(chǎn)成本，一般為降低耗電和成本，采取調整工藝參數、提供進(jìn)料溫度、提高冷卻水溫度、清洗鐘罩等方法。一套好的鐘罩清洗裝置在多晶硅生產(chǎn)中是非常必要的，因為鐘罩清洗的光潔度和清潔度如果不夠，會(huì )導致硅芯擊不穿或產(chǎn)品質(zhì)量污染。

目前多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學(xué)溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶硅還原爐清洗系統始于2009年，德高潔清潔設備有限公司是國內第一家研發(fā)設計制造并獲得實(shí)用新型專(zhuān)利的。目前其設備應用也是覆蓋了國內90%的多晶硅企業(yè)，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統。

經(jīng)過(guò)多年來(lái)客戶(hù)的實(shí)際應用和需求，通過(guò)總結借鑒國內外鐘罩及其它罐類(lèi)清洗烘干經(jīng)驗，對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識。德高潔充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢，研發(fā)半導體級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統，實(shí)現了鐘罩的全自動(dòng)清洗和烘干操作。

1、設備性能可靠

德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口。

2、自動(dòng)化程度高

自動(dòng)化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統，能實(shí)現對還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干，清洗烘干時(shí)間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能。

一次吊裝在一個(gè)工作臺上完成全部清洗、烘干過(guò)程，可實(shí)現遠程對樓下設備的控制和主要參數監控。

3、安全環(huán)保

全密閉式清洗烘干系統，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對現場(chǎng)及操作人員的污染。

德高潔多晶硅鐘罩清洗系統按防爆要求設計，加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作，缺水保護，壓力水超壓保護、漏電保護，水風(fēng)工作互鎖等)。

4、適應范圍廣

可以在一套系統實(shí)現多種型號鐘罩的清洗烘干，現在已經(jīng)使用的有四種。

升級后的多晶硅還原爐鐘罩清洗系統可根據不同的鐘罩、不同車(chē)間廠(chǎng)房不同能源條件，提供個(gè)性化設計，節省了人力物力，大大降低勞動(dòng)強度，這也對提高多晶硅品質(zhì)產(chǎn)生重要意義。